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UNI 2 2015

UNIFORSCHUNG Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien Vier neue Großgeräte Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien hat vier neue Großgeräte im Gesamtwert von fast zwei Millionen Euro angescha”t. Die Universität untermauert damit ihren Ruf als einer der Top-Standorte für Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie und Mikro- und Nanostrukturierung in Deutschland. Das ZMN, das Forschungs- und Entwicklungszentrum des interdisziplinären Instituts für Mikro- und Nanotechnologien IMN MacroNano® der TU Ilmenau, hat seine moderne Anlagen-technik um vier neue Großgeräte erweitert: Zwei Ätzanlagen zur Mikro- und Nanostrukturierung für rund 900.000 Euro, ein Photoelektronenspektrometer für rund 550.000 Euro und ein Großgerät zur Laserbearbeitung für rund 500.000 Euro. Die Finanzierung der Geräte wurde vom Freistaat Thüringen, von der Deutschen Forschungsgemeinschaft und der Europäischen Union gefördert. Zwei Ätzanlagen zur Mikro- und Nanostrukturierung Ohne Siliziumtiefenätztechnik kommen Hightech-Bereiche wie Halbleiterelektronik und Sensortechnik der Zukunft nicht mehr aus. Die Siliziumtiefenätztechnik ist eine Schlüsseltechnologie zur Herstellung dreidimensionaler Funktionsstrukturen der Mikro- und Nanotechnologien. Sie ist damit wesentliche Tech-nologie für die Mikrosystemtechnik, die Nanotechnologie und die Mikro-Nano-Integration. Mit den zwei neuen Ätzanlagen des ZMN erschließt die TU Ilmenau neue Möglichkeiten zur Si-liziumtiefenstrukturierung | 46 UNI I 02 I 2015 und schafft die technologische Basis zur Weiterentwicklung dieser Prozesstechnologie. Photoelektronenspektrometer zur Oberflächencharakterisierung Eigenschaften moderner Produkte werden immer stärker durch die Gestaltung der spezifischen Oberflächeneigenschaften der eingesetzten Materialien bestimmt. Die Photoelektronen-spektroskopie ist ein besonders leistungsfähiges Verfahren zur Oberflächencharakterisierung verschiedenster Proben hinsicht-lich deren chemischer Zusammensetzung und Bindungszu-ständen. Fotos: ari Das neue Großgerät bietet erweiterte Möglichkeiten zur Oberflächenanalytik, die zur Kontrolle und Optimierung technologischer Basisprozesse der Mikro- und Nanotechnologie benötigt werden, und dies sowohl im Bereich der naturwissen-schaftlichen Grundlagenforschung als auch in der angewandten Forschung. Das neue Photoelektronenspektrometer zeichnet sich durch eine sehr hohe laterale Auflösung (<100μm) und die Option der Tiefenprofilierung aus. Dadurch können auch lokale Eigenschaftsänderungen erfasst werden. Großgerät zur Laserbearbeitung Die Laserbearbeitung wird in der Mikrotechnik als Struktu-rierungsverfahren eingesetzt und deckt eine Vielzahl von Materialklassen ab. Das neuinstallierte Großgerät verfügt über eine Laserquelle, die äußerst kurze aber energiereiche Impulse abgibt, mit denen ein Abtrag bzw. Schneiden unterschiedlichster Stoffe möglich ist. Über die gezielte Steuerung der Abtragstiefe lassen sich dreidimensionale Strukturen aus Vollmaterialien he-rausarbeiten. Die Strukturdimensionen selbst liegen im Bereich weniger Mikrometer bis Millimeter. Der Schwerpunkt im IMN MacroNano® liegt in der Bearbeitung von ungesinterter sowie gesinterter Niedertemperaturkeramik in unterschiedlichen Bearbeitungsständen sowie von Metallen und Siliziumwafern. Mit der Inbetriebnahme der Großgeräte sieht sich die TU Ilme-nau für die Forschung in der Mikro-Nano-Integration für Life Sciences, Energieeffizienz und Photonik bestens gerüstet. Das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien ist zudem eines von nur 21 „DFG-Gerätezentren“ bundesweit. Unterstützt durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft, stellt es seine hervorragende technologische Infrastruktur und Spezialausstattung externen Einrichtungen aus Wissenschaft und Wirtschaft zur Verfügung.


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