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UNI 2 2015

UNITITEL UNI I 02 I 2015 27 | als Gerätezentrum ausgewählt worden. Die DFG bescheinigte damit der strategi-schen Ausrichtung des IMN MacroNano® höchste Anerkennung. Mikro-Nano-Integration – eine Schlüsseltechnologie der Zukunft Die Bedeutung der Mikro-Nano-Integ-ration in vielen Bereichen der Ingenieur-anwendungen wächst stetig weiter. Das zeigt sich auch darin, dass die VDE/VDI-Fachgesellschaft Mikroelektronik, Mikro-system- und Feinwerktechnik (GMM) sich mit einem eigenen Fachausschuss dem Thema Mikro-Nano-Integration widmet. Auch hier ist die TU Ilmenau an vorders-ter Position aktiv: Seit seiner Gründung im Jahr 2007 wird der Ausschuss von Professor Martin Hoffmann und damit einem Experten der TU Ilmenau geleitet. Partner aus Universitäten, Forschungsein-richtungen und Hightech-Unternehmen suchen in regelmäßigen Sitzungen und Workshops den Austausch zu aktuellsten Entwicklungen auf dem Gebiet der Miko- Nano-Integration. Der fünfte Workshop, der 2014 an der TU Ilmenau stattfand, stellte neben 30 Beiträgen aus Forschung und Entwicklung erstmals auch konkrete Produkte von Unternehmen vor. Für die nächsten Jahre wird diese Strategie permanent fortgeschrieben, neue Themen entstehen durch die Kommunikation zwischen den Fachgebieten oder werden von außen angeregt – von kooperierenden Forschern ebenso wie von Unternehmen, die Ergebnisse aus der Grundlagenfor-schung nun in ihre Produkte einbringen möchten. „Nach wie vor ist die Hürde vom Labormuster bis zum serientaugli-chen Prozess nicht einfach zu überwin-den“, sieht Professor Hoffmann auch für die Zukunft noch viel Forschungs- und Entwicklungsbedarf. Auch sei die Mikro- Nano-Integration für viele Unternehmen der Einstieg in eine neue, unsichtbare Welt. Neben den technologischen Her-ausforderungen müssen dazu auch die Mitarbeiter qualifiziert werden. Auch hier geht die TU Ilmenau neue Wege: Im Rahmen des vom Bundesforschungsminis-terium finanzierten Projekts NanoTecLearn kooperieren die Fachgebiete Medienpro-duktion (Professorin Heidi Krömker), Kom-munikationswissenschaft (Professor Paul Klimsa) und Mikromechanische Systeme (Professor Martin Hoffmann), um neue mediale und didaktische Möglichkeiten in der Weiterbildung zu erforschen, die das „Unsichtbare sichtbar machen“. Prof. Müller: Regionale KMU sind sicherlich unsere ersten „Kunden“ des Gerätezentrums Mikro-Nano- Integration. Aber wir konnten auch bereits ein DFG-Projekt einwerben, in dessen Rahmen Forschungsleistun-gen des Gerätezentrums in einer Art Pauschale erbracht werden. Daraus resultiert eine hohe Flexibilität in Bezug auf den Technologiezugriff im Projektverlauf, der in der Bean-tragungsphase häufig noch nicht abzusehen ist. Mit mehreren ortsansässigen Unternehmen wurden Rahmenvereinbarungen geschlossen, die unter anderem eine direkte Nutzung der Anlagen-technik in den Reinräumen einschließt. Begünstigt wurde dieses Konzept dadurch, dass die Nutzer oft ehemalige Forscher des IMN MacroNano® sind, die sich bestens mit den Anlagen auskennen. Prof. Hoffmann: Hier wurde bewusst ein nicht einfaches Thema gewählt: Mikro- und Nanostrukturen sind oft zweieinhalb-dimen-sional: sie dehnen sich über große Fläche aus, ihre vertikale Struk-tur ist hingegen eher klein. Aber gerade die Nutzung der dritten Dimension für und durch die Nanostrukturen bietet hier noch viel Potenzial. Hier hat Prof. Lei neue Impulse eingebracht, aber auch andere Fachgebiete arbeiten daran. Das IMN MacroNano® dürfte bundesweit über das größte Portfolio an Technologien verfügen, mit denen gezielt dreidimensionale Nanostrukturen erzeugt werden können. UNI: Wie hat sich die Entwicklung zum erstklassigen DFG-Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration auf die Zusammenar-beit mit Industrieunternehmen und anderen Forschungs- und Entwicklungseinrichtungen ausgewirkt? Fotos: ari (7), Sebastian Trepesch (1)


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