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UNITITEL kleineren Bauteilen, die mit immer mehr Funktionalitäten ausgestattet werden, kurz: zu optischen Mikrosystemen. Diese komplexen Systeme vereinen die Vorteile mehrerer Technologien zur vollständigen Systemintegration. Von der optischen Komponente bis zur Systemregelung werden alle Aspekte bereits beim Systementwurf anwen-dungsspezifisch berücksichtigt. Die Anwendungsfelder sind dabei so breit wie das Forschungsfeld interdisziplinär ist. Es umfasst zahlreiche Gebiete und schließt die Mik-roelektronik und Mikrooptik ebenso ein wie die Mikro-sensorik und Mikroaktorik, aus der etwa Mikromotoren und Mikropumpen hervorgehen. Die TU Ilmenau ist auf all diesen Gebieten ganz vorn dabei. UNI I 01 I 2014 15 | uch vor optischen Systemen und Technologien hat der allgemeine Trend zur Miniaturisierung nicht Halt gemacht. In den letzten drei Jahrzehnten wurden die Verfahren der Mikrosystemtechnik konsequent auch auf optische Systeme angewendet. Dabei bezieht sich die Miniaturisierung nicht nur auf klassische abbildende Komponenten wie Linsen, Spiegel oder Prismen, sondern auch auf zum Beispiel winzige mechanische Antriebe, mit denen optische Eigenschaften wie der Abbildungsmaß-stab oder der Blickwinkel variiert werden können, oder die Optoelektronik, bei der elektronisch erzeugte Daten und Energien in Lichtemission umgewandelt werden und umgekehrt. Die Entwicklungen gehen dabei zu immer Die Integration von optischen Verfahren in Mikrosysteme sind eine Spezialität der TU Ilmenau. Optische Mikrosysteme erlauben völlig neue Funktionalitäten. Das Foto zeigt Forschungsarbeiten zur optischen Mikromanipulation von Partikeln und Partikelströmen. A Fotos: ari


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