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UNIFORSCHUNG Sonderforschungsbereich 622 „Nanopositionier- und Nanomessmaschinen“ In dem mit insgesamt 21 Millionen Euro geförderten interdisziplinären Verbund erforschten Wissenschaftler der TU Ilmenau seit 2002 im Rahmen von 30 Teilprojekten Prinzipien, Verfahren und Anordnungen zur Realisierung von nanometergenauen 3DNPM Maschinen bis hin zur Übertragung in industrietaugliche Demonstratoren. Der Sprecher des SFB, Professor Eberhard Manske, blickte anlässlich des Abschlusskolloquiums auf eine intensive Forschungsarbeit zurück, bei der die Wissenschaftler bis zu den Grenzbereichen der Nanopositionier- und Messtechnik vordrangen. Im Laufe der insgesamt drei Förderperioden wurden unter Leitung von Professor Gerd Jäger (2002 bis 2008) und Professor Eberhard Manske (seit 2009) neuartige Lösungen für variable Einsatzszenarien von NPM-Maschinen erarbeitet. Weitere Schwerpunkte lagen auf unterschiedlichen Sensor- und Toolsystemen zur dreidimensionalen Messung, Bearbeitung und Manipulation mit Auflösungen bis zu 20 Pikometern in Arbeitsvolumen von mehreren Dezimetern. Die Auflösung der Interferometer konnte um den Faktor 62 und die Frequenzstabilität der Laser um mehr als den Faktor 10 verbessert werden. Die herausragenden Ergebnisse der gemeinsamen Forschungsarbeit von Wissenschaftlern aus über 30 Fachgebieten und der rund 30 Doktoranden des integrierten DFG-Graduiertenkollegs „Nanopositionier- und Nanomesstechnik“ wurden während der Abschlusspräsentation am 29. Mai in zehn wissenschaftlichen | 32 UNI I 03 I 2013 Vorträgen vor Vertretern der DFG, der Thüringer Ministerien für Wissenschaft und Wirtschaft und Industrie eindrucksvoll präsentiert. Dazu zählen sub-nanometergenaues Messen und Positionieren, Hochleistungssignalverarbeitung, die Analyse und Visualisierung riesiger Messdatenmengen, die wissensbasierte Prüfplanung, multifunktionale Nanoanalytik, Nanotools wie die optische Pinzette und neue Konstruktions-, Führungs-, Antriebs-, Steuer- und Regelungskonzepte. Die Forschungsergebnisse wurden in insgesamt rund 850 Beiträgen in nationalen und internationalen Fachzeitschriften und Fachkonferenzen publiziert, 43 Promotionen, sieben Habilitationen abgeschlossen und zehn Wissenschaftler auf Professuren berufen. Im Rahmen des Transfer- und Verbundprojektes NPMM- 200 wurde gemeinsam mit Partnern der Industrie ein Labormuster einer NPM-Maschine mit einem Arbeitsbereich von 200 x 200 x 25 mm³, einer Auflösung von 0,08 Nanometern (nm) und einer Positionier-Reproduzierbarkeit von 1 nm entwickelt. Professor Manske dankte allen an diesen herausragenden Erfolgen beteiligten Mitgliedern des Sonderforschungsbereiches, den Gutachtern, der DFG, dem Land Thüringen, der Universität und den beteiligten Industrieunternehmen. Besonders würdigte er die Verdienste des Begründers der Nanopositionier- und Nanomesstechnik in Ilmenau, Initiator und langjährigen Sprechers des SFB 622, Professor Gerd Jäger. „Ohne ihn und sein großartiges Engagement wäre dies alles nicht zustande gekommen“, betonte Professor Manske. Nach dem erfolgreichen Abschluss des Sonderforschungsbereichs 622 wird die fakultätsübergreifende Forschungsarbeit im neu gegründeten „Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen“ der TU Ilmenau fortgesetzt. Der Sprecher des SFB 622, Professor Eberhard Manske, konnte bei der Abschlusspräsentation eine beeindruckende Bilanz ziehen. „Leuchtturm mit unerreichter Präzision.“ „Der Weltstand auf dem Gebiet der Nanopositionier- und Nanomesstechnik wird von Ilmenau mitbestimmt.“ Diese Einschätzungen des Sonderforschungsbereiches 622 durch die Gutachter der Deutschen Forschungsgemeinschaft sind Beleg für den weltweiten Spitzenplatz, den die TU Ilmenau auf dem Gebiet der Präzisionstechnik einnimmt. Nach maximaler Laufzeit von elf Jahren wurde der SFB mit einem wissenschaftlichen Kolloquium jetzt abgeschlossen. Foto: Bettina Wegner Abschluss eines Erfolgsprojekts


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