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Bericht des Rektors 2016 | 2017 85 HIGHLIGHTS CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH Vollautomatisches Montagecenter für UV-LEDs Im Konsortium „Advanced UV for Life“ im Programm „Zwanzig20 – Partnerschaft für Innovation“ des Bundesforschungsministeriums arbeitet das CiS an der kos-tengünstigen industriellen Fertigung von UV-LED-basierten Komponenten. For-schungsziel der 22 Partner des Konsortiums ist die vollautomatische industrielle Montage anwendungsspezifischer UV-LED-Module. Dabei ist das CiS spezialisiert auf die Entwicklung und Untersuchung von Montagetechnologien der Aufbau- und Verbindungstechnik und spezifischer Beleuchtungsmodule. Zudem koordiniert das CiS als Bindeglied zwischen Halbleiterforschung und Industrie das Anwendungsfeld „Module & Messtechnik“. Sicher ist sicher – die Schraube 4.0 Weltweit zum ersten Mal präsentierte das CiS auf der Hannover Messe 2017 einen neuen Sensor zur Prüfung von Spezialschrauben in sicherheitsrelevanten Anwen-dungen. Auf einem Schraubenkopf wurde mit Glaslot, einem Glas mit besonders niedriger Erweichungstemperatur, ein hochempfindlicher MEMS-Sensor, befestigt: die „Schraube 4.0“. Der Schraubenkopf erfasst berührungslos die Vorspannkraft während des Anziehens der Schraube mit dem Schraubwerkzeug oder auch bei der Überwachung von Schraubverbindungen über einen integrierten RFID-Trans-ponder. Solche Schrauben werden zum Beispiel im Maschinenbau, in der Förder-technik und in Windkraftanlagen benötigt. Neue Hightech-Geräte am CiS Das CiS hat einen neuen Laser-Direktbelichter in Betrieb genommen, mit dem insbesondere in der Forschung, zum Beispiel in der Grauwertlithographie, neue Designs maskenlos und sehr flexibel erstellt werden können. Zudem können für Wafer oder Waferabschnitte durch ein sequentielles Schreibverfahren fotosensitive Schichten direkt belichtet werden. Die Möglichkeit, den Fokus der Belichtungsein-heit in der Tiefe zu variieren, bietet einen entscheidenden Vorteil bei der Herstel-lung von 3D-strukturierten mikro-opto-elektro-mechanischen Systemen (MOEMS) und mikro-elektro-mechanischen Systemen (MEMS). Sommerschule „SmartDiamonds“ initiiert Um das Wissen um die herausragenden Eigenschaften von Diamantbeschichtungen zu verbreiten, rief das CiS die Sommerschule „SmartDiamonds“ ins Leben. Eine Woche lang trafen sich im September 2017 in Elgersburg bei Ilmenau renommier-te Experten aus Forschung und Industrie. Diamantbeschichtungen werden in der Mikrosystemtechnik, der Photonik, der Medizintechnik, der Biochemie und im Maschinenbau eingesetzt.


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