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84 Forschung für die Wirtschaft | CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH AN-INSTITUTE CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik „Competence in Silicon“ – Silizium prägt den Namen der CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH seit der Gründung im Jahr 1993. Das An-Institut der TU Ilmenau entwickelt und fertigt kundenspezifische Lösungen in den Bereichen mikro-elektro-mechanische Systeme, mikro-opto-elektro-mechanische Systeme und Siliziumdetektoren. Anforderungen des Genfer Großforschungszentrums erfordern die Weiterentwicklung dieser Detektoren – Forschungs- und Entwick-lungsarbeiten, die am CiS durchgeführt werden. Die strahlungs-harten Detektoren stehen auch im Fokus des EU-Projektes „Smart Sensor Technologies and Training for Radiation Enhanced Applica-tions and Measurements“ (STREAM), das 17 Nachwuchswissen-schaftlern neue Karrierechancen eröffnet. Mitglied des Supervisory Boards, des höchsten Entscheidungsgremiums des Verbundpro-jektes, ist Prof. Thomas Ortlepp, seit 2015 Geschäftsführer des CiS Forschungsinstituts für Mikrosensorik. Arbeitsgebiete des CiS Forschungsinstituts sind die Entwicklung von Technologien für die Mikrosystemtechnik, von Mikrosensoren, Sensorsystemen und Siliziumdetektoren. Das CiS transferiert For-schungsergebnisse in industrielle Anwendungen und unterstützt die Wirtschaft bei der Entwicklung innovativer Produkte. Sein Fokus liegt auf Genauigkeit, Stabilität, Zuverlässigkeit, Lebensdauer und Kosteneffizienz. Weltmarktführer nutzen die langjährigen Erfahrun-gen des CiS Forschungsinstituts bei hochstabilen Drucksensoren, hochempfindlichen photonischen Sensoren und Strahlungsdetek-toren. Die enge Anbindung an die Universität ermöglicht es dem CiS For-schungsinstitut, Ergebnisse der Grundlagenforschung schnell und gezielt in kundenspezifische industrielle Anwendungen zu trans-ferieren. Die Kompetenzen der Wissenschaftler und Ingenieure werden perfekt ergänzt durch die technologische Infrastruktur am Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN) der TU Ilmenau. Diese enge Verzahnung ermöglicht es, alle Teilschritte umzusetzen, die für die Schaffung industrieller Innovationen nötig sind: von der Sensorentwicklung bis zur Realisierung spezieller mikrotechnologi-scher Bauelemente. Für spezifische Anwendungen verbessert dies die Wertschöpfungstiefe und erlaubt es dem CiS Forschungsinstitut, seinen Partnern neueste wissenschaftliche Ergebnisse und tech-nologische Möglichkeiten schnell und unkompliziert anzubieten. „Das CERN verwendet unsere hauchdünnen, gegen extrem harte Strahlung resistenten Sensoren.“ Eines der Parade-Forschungs- und Entwicklungsergebnisse des CiS sind hauchdünne, gegenüber extrem harter Strahlung resistente Sensoren zur Spurverfolgung, die beispielsweise in den Höchst-leistungsteilchenbeschleunigern der Europäischen Organisation für Kernforschung CERN eingebaut werden, wo sie die Spuren der Ele-mentarteilchen in der Nähe des Kollisionspunktes erfassen. Neue


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