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68 Forschung auf höchstem Niveau | Graduiertenkolleg NanoFab GRADUIERTENKOLLEGS UND GRADUIERTENSCHULEN DFG-Graduiertenkolleg Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makro-skopischen Arbeitsbereichen (NanoFab) Die Deutsche Forschungsgemeinschaft fördert das Graduiertenkolleg „Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabri-kation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen (NanoFab)“ seit April 2017 mit 5,7 Millionen Euro für viereinhalb Jahre. Die Förderung ermöglicht die Entwicklung innovativer Fertigungsverfahren im Nanometerbe-reich messen und zu bearbeiten. Um solch neue, skalenübergreifende, großflächige Lösungen für die Nanofabrikation zu entwickeln, strebt das Graduiertenkolleg NanoFab an, innovative Nanofabrikations-techniken mit den herausragenden Fähigkeiten selbst entwickelter Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPM) synergetisch zu verbinden. Gleichzeitig erarbeiten die Forscher auch alternative Li-thographieverfahren, mit denen in Zukunft zum Beispiel Präzisions-optiken mit neuen, bislang nicht möglichen optischen Eigenschaften gefertigt werden können. Parallel zu den Forschungsarbeiten promovieren im Graduiertenkol-leg NanoFab 13 Doktoranden in einem strukturierten Forschungs- und Qualifizierungsprogramm auf höchstem fachlichem Niveau. Durch Verbindung der NPM-Technologie mit neuesten Nanofabrika-tionstechniken untersuchen sie, wie kleinste Strukturen auf großen Flächen effizient hergestellt werden können. Bereits in der ersten Doktorandengeneration will das Graduiertenkolleg mit Nanopositi-onier- und Nanomessmaschinen die spitzenbasierte Strukturierung von Wafern, also von Substratscheiben für elektronische Bauele-mente, unter 10 Nanometern in Bereichen bis 25 Quadratmillime-tern nachweisen. Für die Forschungsarbeiten des Graduiertenkollegs NanoFab beste-hen an der TU Ilmenau mit dem Kompetenzzentrum Nanopositio-nier- und Nanomessmaschinen die besten Voraussetzungen. Das Zentrum verfügt über eine weltweit einzigartige wissenschaftlich-technische Ausstattung: fünf Nanopositionier- und Nanomessma-schinen höchter Präzision, mit denen nun auch die Forschung auf dem Gebiet der Nanofabrikation vorangetrieben wird. Auf dem Ge-biet der Entwicklung hochpräziser Nanopositionier- und Nanomess-maschinen belegt die TU Ilmenau weltweit eine Spitzenposition. Im Graduiertenkolleg NanoFab erforschen 14 Wissenschaftler aus neun Fachgebieten um Professor Eberhard Manske, Sprecher des Graduiertenkollegs und Leiter des Fachgebiets Fertigungs- und Prä-zisionsmesstechnik, neue Möglichkeiten und Strategien zur Nanofa-brikation unter Einsatz von spitzen- und laserbasierten Techniken. Die Forschungsarbeiten ergeben sich aus der erstaunlichen Erkennt-nis, dass die Halbleiterindustrie seit 40 Jahren mit größter Stetigkeit dem Moore‘schen Gesetz folgt, das vorhersagt, dass Strukturen kontinuierlich kleiner werden. Entsprechend müssen für die Pro-duktion, insbesondere für die Mikro- und Nanotechnologien, alter-native Fabrikationstechnologien entwickelt werden, die es ermögli-chen, Strukturen in immer größer werdenden Arbeitsbereichen von mehreren hundert Millimetern Durchmesser auf atomarer Skala zu „Unsere technische Ausstattung ist mit fünf Nanopositioniermaschinen weltweit einzigartig.“ und die Ausbildung hochqualifizierter Wissenschaftler.


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