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Bericht des Rektors 2016 | 2017 57 HIGHLIGHTS Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen NPMM-200 erfolgreich für Universität Stuttgart entwickelt Nach überaus intensiven Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wurde die inter-national einzigartige Nanopositionier- und Nanomessmaschine, die im Rahmen einer DFG-Großgeräteinitiative entwickelt worden war, im September 2017 beim 32. Optik-Kolloquium des Instituts für Technische Optik der Universität Stuttgart übergeben. Durch ihre außerordentlich hohe Wiederhol- und Positioniergenau-igkeit können die Stuttgarter Wissenschaftler künftig Sensoren für extrem hoch-auflösende Lithographie entwickeln und ihre Forschungsarbeiten beispielsweise zu synthetischen Quantensystemen, 3D-Messungen mit makroskopischen, mik-roskopischen und nanoskopischen Sensoren und zur multimodalen Sensorfusion vorantreiben. Graduiertenkolleg geht an den Start Mit einer Auftaktveranstaltung wurde am 24. Mai 2017 das Graduiertenkolleg NanoFab eröffnet. Das Graduiertenkolleg, das von der Deutschen Forschungsge-meinschaft in einer ersten Förderperiode für viereinhalb Jahre mit 5,7 Millionen Euro finanziert wird, bietet 13 jungen Forschern die Möglichkeit, am Kompe-tenzzentrum zu Forschungsthemen auf höchstem wissenschaftlichen Niveau zu promovieren. Erfolgreiche Dissertationen 2016 und 2017 schlossen zahlreiche Doktoranden der verschiedenen Fachberei-che, die im Kompetenzzentrum aktiv sind, erfolgreich ihre Promotionen ab. Der junge chinesische Wissenschaftler Dr. Haifeng Xu promovierte auf dem Gebiet der Nanopositionier- und Nanomesstechnik mit Forschungen zur Vermessung von Spiegelecken. In seiner Dissertation befasst er sich mit der hochgenauen Bestim-mung der Form- und Orthogonatitätsabweichungen von Spiegelecken. Die Ge-nauigkeit der Bestimmung und die Korrektur der Abweichungen beeinflusst ent-scheidend die Messunsicherheit der Nanopositionier- und Nanomessmaschinen.


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