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56 Forschung auf höchstem Niveau | Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen INNOVATIONSZENTREN UND KOMPETENZZENTREN Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen Das Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomessmaschinen ging 2013 aus dem Sonderforschungsbereich 622 der Deutschen Forschungsgemeinschaft hervor, der nach elf Jahren intensiver Forschungstätigkeit erfolgreich abgeschlossen worden war. Zusammen mit einem Graduiertenkolleg mit 30 Doktoranden aus sechs Ländern, das in der letzten Förderperiode in den Sonderforschungsbereich integriert war, erarbeiteten sich die Wissenschaftler der TU Ilmenau auf dem Gebiet der Nanopositionierung und Nanomessung eine international herausragende Stellung. Fachkonferenzen publiziert. Die hier entwickelten Nanopositionier- und Nanomessmaschinen erreichten in immer größeren Messberei-chen eine Auflösung von nur 20 Pikometern, das sind 20 Milliardstel Millimeter – kein Gerät weltweit ist genauer. Zu den Themen, die die Spezialisten in der Nanopositionierung und Nanomessung ebenfalls bearbeiten, zählen Hochleistungssignalverarbeitung, die Analyse und Visualisierung riesiger Messdatenmengen, wissensbasierte Prüfplanung, multifunktionale Nanoanalytik, Nanotools wie eine optische Pinzette und neue Konstruktions-, Führungs-, Antriebs-, Steuer- und Regelungskonzepte. Die Deutsche Forschungsgemeinschaft erteilte dem Kompetenz-zentrum den Auftrag, in einem 4-Millionen-Euro-Projekt über vier Jahre für die Universität Stuttgart eine hochpräzise Nanopositio-nier- und Nanomessmaschine zu entwickeln. Die NPMM-200, die sowohl unter atmosphärischen Bedingungen als auch unter Vakuum arbeitet, erreicht in einem Messbereich von 200 mal 200 mal 25 Millimeter Subnanometerauflösung und Nanometerpräzision. 2017 wurde die weltweit präziseste Maschine ihrer Art der Universität Stuttgart übergeben. Seit April 2017 fördert die Deutsche Forschungsgemeinschaft das Graduiertenkolleg „Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopischen Arbeitsbereichen (NanoFab)“ für viereinhalb Jahre mit 5,7 Millionen Euro. 13 Doktoranden aus unter-schiedlichen Forschungsgebieten arbeiten daran, hochentwickelte Nanofabrikationstechniken mit den herausragenden Fähigkeiten der Nanopositionier- und Nanomessmaschinen zu verbinden und so die Entwicklung neuartiger Nanotechnologien und Anwendungen für die Produktionsindustrie zu ermöglichen. Die Forschungsarbeiten des Kompetenzzentrums Nanopositionier- und Nanomessmaschinen unter der Leitung von Prof. Eberhard Manske, Leiter des Fachgebiets Fertigungs- und Präzisionsmess-technik, bewegen sich in den Grenzbereichen der Nanomess- und Nanopositioniertechnik. Sein hochgradig ambitioniertes techno-logisches Ziel ist es, immer kleinere Objekte in immer größeren Raumbereichen mit extremer Genauigkeit und höchster Positionier-geschwindigkeit zu beherrschen. Die Arbeiten des Kompetenzzen-trums ermöglichen die präziseste Bearbeitung vielfältiger Anwen-dungen in den Zukunftsfeldern Mikromechanik, Präzisionsoptik und Halbleitertechnik: Mikro- und nanostrukturierte Oberflächen mit neuartigen Funktionen, Mikrozahnräder, Mikrolinsen, Präzisions-optiken, Optiken für Headup-Displays und Freiformflächen, die die Herstellung der meisten optischen Systeme erleichtern: CD-Player, Scanner, Hochleistungslaser oder Mikro- und Teleskope. In der Vergangenheit des SFB 622 Nanopositionier- und Nanomess-maschinen wurden die herausragenden Ergebnisse der Forschungs-arbeit von Wissenschaftlern aus 30 Fachgebieten in über 850 Bei-trägen in nationalen und internationalen Fachzeitschriften und auf „Die NPMM-200, von unseren Wissen-schaftlern gebaut, ist die weltweit präziseste Maschine ihrer Art.“


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