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Bericht des Rektors 2016 | 2017 37 HIGHLIGHTS Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik Weltweit einzigartige Präzisionsmaschine für Universität Stuttgart Im Rahmen einer DFG-Großgeräteinitiative erhielt die TU Ilmenau den Auftrag für den Bau einer neuen Nanopositionier- und Nanomessmaschine. Genau zwei Jahre später, im September 2017, wurde die NPMM-200 nach intensiven Arbeiten an den Adressaten, das Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart, übergeben. Die durch ihre außerordentlich hohe Positionier- und Wiederhol-genauigkeit weltweit einzigartige Maschine ermöglicht es den Stuttgarter Wis-senschaftlern, Sensoren für extrem hochauflösende Lithographien zu entwickeln. Neue Technologie verbessert Frequenzunsicherheit drastisch Seit Anfang 2017 läuft das von der Carl-Zeiss-Stiftung geförderte Forschungs-strukturvorhaben „Neue metrologische Basis höchster Präzision (MetroBase)“. Indem Laserfrequenz über einen Frequenzkamm direkt mit einer Atomuhr ver-bunden wird, wird die Frequenzunsicherheit der in Nanopositioniermaschinen verwendeten Laser um drei Größenordnungen verbessert. Das Forschungsprojekt wird die erst vor wenigen Jahren entwickelte Frequenzkammtechnologie an der TU Ilmenau etablieren und mit den Kompetenzen auf dem Gebiet der Nanopo-sitionier- und Nanomessmaschinen synergetisch verbinden. Renommierter Preis für früheren Institutsdirektor Prof. Gerd Jäger, ehemaliger langjähriger Leiter des Instituts für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau und Initiator des früheren DFG-Sonderfor-schungsbereichs 622 „Nanopositionier- und Nanomessmaschinen“, erhielt beim 32. Optik-Kolloquium des Instituts für Technische Optik der Universität Stuttgart 2017 den Dr.-Hans-Steinbichler-Preis. Der Preis wird alle vier Jahre von der Familie des renommierten Lasermesstechnik-Pioniers Steinbichler für besondere Leistun-gen auf dem Gebiet der optischen Metrologie verliehen.


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