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36 Die Forschungscluster der TU Ilmenau | Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik FORSCHUNGSCLUSTER Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik Das Forschungscluster Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik steht für ambitionierte Forschung mit dem Ziel, derzeit bestehende Grenzen hinsichtlich Genauigkeit von Geräten, Maschinen und Verfahren zu überwinden. Ausweis dafür sind zahlreiche wissenschaftliche Arbeiten zu Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, zur Nanofabrikation, der Kraftmess- und Wägetechnik und der Lorentzkraft- Werkstoffprüfung, die international hohe Beachtung finden oder gar weltweit Standards setzen. Die Arbeiten des Forschungsclusters Präzisionstechnik und Präzisi-onsmesstechnik sind von grundsätzlicher Bedeutung für vielfältige innovative Anwendungen in den Zukunftsfeldern Halbleitertech-nik, Mikro- und Nanotechnologien und Präzisionsoptik. Wissen-schaftliche Schwerpunkte des Forschungsclusters sind ultrapräzise Nanopositionierung, Nanomesstechnik und Nanofabrikation, ultra-präzise Kraftmess- und Wägetechnik, industrielle Bildverarbeitung und Feinwerktechnik, hochgenaue Temperaturmesstechnik und neuartige Strömungsmess- und Materialprüfverfahren. 21 Fach-gebiete der TU Ilmenau arbeiten in zahlreichen Forschungsprojekten interdisziplinär zusammen. Ein Schwerpunkt des Forschungsclusters Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik ist die Nanopositionier- und Nanomess-technik. Das Kompetenzzentrum Nanopositionier- und Nanomess-maschinen, hervorgegangen aus einem Sonderforschungsbereich der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) an der Technischen Universität Ilmenau, dringt in immer neue Genauigkeitsbereiche vor. Die hier entwickelten Maschinen erreichen in immer größeren Messbereichen Auflösungen von wenigen Pikometern. Im Rahmen einer DFG-Großgeräteinitiative entwickelte das Kompetenzzentrum für die Universität Stuttgart eine Nanopositionier- und Nanomess-maschine mit internationalen Spitzenparametern an Präzision und Leistung: die NPMM-200, die der Universität Stuttgart beim 32. Optik-Kolloquium des Instituts für Technische Optik im September 2017 übergeben wurde. Seit 2017 fördert die DFG das Graduiertenkolleg „Spitzen- und laserbasierte 3D-Nanofabrikation in ausgedehnten makroskopi-schen Arbeitsbereichen (NanoFab)“. 14 Wissenschaftler aus neun Fachgebieten verbinden hochentwickelte spitzen- und laserbasierte Techniken der Nanofabrikation mit den herausragenden Fähigkeiten der Nanopositionier- und Nanomessmaschinen synergetisch so mit-einander, dass neue skalenübergreifende, großflächige Lösungen für die Nanofabrikation möglich werden. 13 Doktoranden haben hier die Möglichkeit, auf hohem fachlichen Niveau zu promovieren. „Präzision und Leistung der NPMM-200, die wir für die Universität Stuttgart entwickelt haben, sind weltweit unerreicht.“


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