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HIGHLIGHTS Nanoengineering Bericht des Rektors 2016 | 2017 35 18-Millionen-Euro-Projekt unter Führung der TU Ilmenau erfolgreich Mit dem Projekt „Single Nanometer Manufacturing“ schloss die TU Ilmenau ein europäisches Großprojekt erfolgreich ab, in dem neue Technologien zur Entwick-lung elektronischer Chips der Zukunft erforscht wurden. 16 Partner aus europäi-schen Forschungseinrichtungen und der Industrie entwickelten unter der Leitung von Prof. Ivo W. Rangelow, Leiter des Fachgebiets Mikro- und nanoelektronische Systeme, technologische Verfahren weiter, die zur Herstellung kleinster Transis-toren notwendig sind. In dem 18-Millionen-Euro-Projekt wurden unter Nutzung von Quanteneffekten Einzelelektronen-Bauelemente mit einer Größe von nur 1,8 Nanometern konstruiert. Innovationszentrum InQuoSens an der TU Ilmenau gegründet 2017 wurde an der TU Ilmenau das Innovationszentrum für Quantenoptik und Sen-sorik InQuoSens gegründet. Die komplementären Technologien und Strukturen der TU Ilmenau und des Ernst-Abbe Centers of Photonics der Friedrich-Schiller- Universität Jena ermöglichen exzellente Grundlagenforschung im Bereich Quan-tenoptik und Sensorik. Daneben strebt InQuoSens die Vernetzung mit der Indus-trie an und will so den Technologietransfer in die Thüringer Wirtschaft stärken. 15 Jahre Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien 2002 eröffnet, zählt das ZMN, das seitdem auf zwei Gebäude angewachsen ist, zu den Hochtechnologiezentren der TU Ilmenau. Das Konzept, Anlagen und Geräte in zentralisierten Gebäuden gemeinschaftlich zu nutzen, wurde nicht nur Vorbild für weitere neue Zentren an der TU Ilmenau, es findet auch international Beachtung. Bei der Feier zum 15. Jubiläum des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien im März 2017 blickten die ZMN-Forscher gemeinsam mit Gründern, Förderern und Partnern auf eine überaus erfolgreiche Entwicklung zurück.


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