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Bericht des Rektor 2013

24 Die Forschungscluster der TU Ilmenau | Nanoengineering turen und deren Integration in komplexe Mikrosysteme. Durch die speziellen Eigenschaften der Nanostrukturen erhalten diese Systeme vollkommen neue Funktionen. So wurden beispielsweise Technolo-gien zur Steigerung des Wirkungsgrades von Photovoltaiksystemen entwickelt, an einer neuen Generation Kommunikationssatelliten geforscht und an der Entwicklung neuer Systeme zur Zellkultivierung und Zellanalyse gearbeitet. Seit 2013 führt die TU Ilmenau ein europäisches Projekt an, in dem neue Technologien zur Entwicklung elektronischer Chips erforscht werden. Sie ermöglichen Computer, Handys und Tablets der nächs-ten Generation. In dem 18-Millionen-Euro-Projekt „Single Nanome-ter Manufacturing for beyond CMOS devices (SNM)“ entwickeln die Wissenschaftler nanoelektronische und nanomechanische Systeme, die nur fünf bis zehn Mal größer sind als die heute gültige theore-tische Untergrenze, das Atom. Die Forschung ist die Reaktion auf die fulminante technologische Entwicklung der modernen Infor-mationsgesellschaft in den vergangenen 40 Jahren. Elektronische Chips für Computer, Handys und Tablets wurden immer schneller und leistungsfähiger, die darin verwendeten Transistoren signifikant kleiner: 1970 waren die kleinsten Teile dieser Transistoren noch so groß wie der Durchmesser eines Haars, bis heute wurden ihre Ab-messungen um mehr als das Tausendfache auf 35 Nanometer redu-ziert. So konnte die Anzahl der Schaltelemente auf einem einzelnen Chip von 2 300 im Jahr 1970 auf über 1,3 Billionen erhöht werden. Um dieses exponentielle Wachstum technologischer Evolutionen für die moderne Informationsgesellschaft beizubehalten, arbeiten im SNM-Projekt 15 Partner aus acht europäischen Ländern an neu-en Technologien zur Herstellung immer kleinerer hochfunktioneller nanoelektronischer Baueinheiten. Die wichtigste gemeinsame Technologieplattform der Wissenschaft-ler für solche Spitzenforschung ist das Zentrum für Mikro- und Nano-technologien (ZMN), das im Feynman- und im Meitnerbau hochkom-plexe und kostenintensive Forschungsinfrastruktur bereitstellt. Das ZMN verfügt im Feynmanbau über 1 200 Quadratmeter Labor- und Reinraumflächen, die mit modernster technologischer Anlagentech-nik für die Mikro- und Nanostrukturierung ausgestattet sind. Im Jahr 2013 wurden zusätzlich die Reinraumflächen des Meitnerbaus in den Betreuungsbereich des Zentrums integriert, sodass nun im ZMN eine Gesamtlaborfläche von 2 000 Quadratmetern zur Verfügung steht. Um die experimentellen Möglichkeiten der Wissenschaftler zu erweitern, wurden neue Geräte und Apparaturen aufgestellt und die Infrastruktur des Gebäudes entsprechend angepasst. Für die Installation einer neuen Gasversorgungsanlage und der dazugehö-rigen Sicherheitstechnik investierte die Universität 900 000 Euro. Das System wurde im vierten Quartal 2013 planmäßig in Betrieb genommen. Seit 2013 wird das Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien von der Deutschen Forschungsgemeinschaft im Rahmen des Programms „Gerätezentren – Core Facilities“ mit über einer halben Million Euro für drei Jahre gefördert. Unter 42 Bewerbern erhielten nur zehn die Förderung eines „DFG-Gerätezentrums“, darunter die TU Ilmenau. Damit ist das ZMN heute eines von nur 21 DFG-Gerätezentren bun-desweit. Mit der Initiative unterstützt die DFG eine breitere Nutzung von „Gerätezentren und Netzwerken von nationaler oder internatio-naler Bedeutung“. Die Förderung des Zentrums für Mikro- und Nano-technologie als „Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration“ ermöglicht „Das Zentrum für Mikro- und Nanotechno-logien ist eines von nur 21 DFG-Geräte-zentren bundesweit.“ externen Partnern aus Wissenschaft und Wirtschaft einen noch bes-seren Zugang zur hervorragenden technologischen Infrastruktur und der Spezialausstattung des Zentrums. Die Professionalisierung des Wissenschafts- und Nutzermanagements im „Gerätezentrum Mikro- Nano-Integration“ dient also nicht nur den eigenen Wissenschaftlern, sie stärkt auch den Forschungs- und Industriestandort Thüringen.


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