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Bericht des Rektors 2012

92 Forschung für die Wirtschaft | Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme AN-INSTITUTE Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme Das Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme ist das idealtypische An-Institut der TU Ilmenau. Indem es kleinen und mittleren Unternehmen anwendungsorientierte Vorlaufforschung für die Entwicklung von Erzeugnissen der Mikroelektronik und Systemtechnik zur Verfügung stellt, versteht es sich als Brücke zwischen Wissenschaft und Wirtschaft. Durch seine Stellung als An-Institut der TU Ilmenau profitiert sowohl das IMMS, als auch die Universität von der Forschung und der wissenschaftlichen Vernetzung beider Partner. Im Jahr 2012 hat das IMMS mit 28 Fachgebieten in den Bereichen Elektro- und Informationstechnik, Maschinenbau, Informatik und Automatisierung, Mathematik sowie Medien- und Kommunika-tionswissenschaften wissenschaftliche Projekte bearbeitet, unter anderem in den Bereichen hochpräzise Positionier- und Mess-maschinen, Biomedizintechnik, Sensorik zur Überwachung von Prozessen im Hochtemperaturbereich und Hochfrequenztechnik für die Satellitennavigation. Gleichzeitig ist das Institut stark mit der Industrie vernetzt. In den Branchen Fahrzeugtechnik, Mikro-technik, Mikroelektronik und Optik ist es ebenso in regionale und nationale Innovationsnetzwerke eingebunden wie in industrielle Cluster. Die Nutzung und Bündelung technologischer Kompe-tenzen und die Entwicklung gemeinsamer Marktstrategien er-möglicht eine hohe Effizienz. Das IMMS wurde mit dem „Mag6D“ für den Innovationspreis Thü-ringen 2012 nominiert. Damit schaffte es in der Kategorie „Industrie und Material“ den Sprung unter die besten drei Bewerber. Mag6D ist ein vollständig magnetisch geführtes Positioniersystem, mit dem eine Last präzise in sechs Koordinaten bewegt wird. Die Forscher nutzen hierfür das Prinzip der Magnetschwebebahn. Zusammen mit der Firma Physik Instrumente und der TU Ilmenau entwickelten sie die Basistechnologie, mit der die Industrie künftig in molekularem Maß-stab im Vakuum fertigen kann. Das ist beispielsweise zur Herstellung von Mikrochips und im Life-Science- und Biotech-Sektor notwendig. Seit seiner Gründung im Jahr 1995 entwickelt das Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme mit Hauptsitz auf dem Universitätscampus komplexe Systeme, die aus der Inte-gration mikromechanischer Bauelemente mit mikroelektroni-schen Schaltungen bestehen. Die Ingenieure fertigen nicht nur die Systemtechnologie und Geräte, sondern auch entsprechen-de Schaltungen und die notwendige Software. Ob integrierte Schaltungen, Geräte mit höchster Präzision im Nanobereich oder Steuerungen – das IMMS unterstützt den gesamten Prozess von der Forschung über die Entwicklung und die Herstellung eines Prototypen bis hin zur Einführung in die Produktion und die Eroberung von Märkten. Entsprechend seiner auf Interdiszipli-narität ausgerichteten Strategie plant das IMMS, Mechatronik, Mikroelektronik und eingebettete Hard- und Software mit Hilfe praktischer Entwurfsmethoden besser zu verschmelzen. „Wir entwickeln nicht nur Systemtechnologie, sondern auch Software, Schaltungen und Geräte.“


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