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Bericht des Rektors 2012

62 Forschung auf höchstem Niveau | Graduiertenkolleg Nanopositionier- und Nanomessmaschinen GRADUIERTENKOLLEGS UND -SCHULEN Integriertes Graduiertenkolleg SFB 622 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen Der Sonderforschungsbereich 622 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen erforscht die wissen-schaftlichen und technologischen Grundlagen für den Entwurf und die Konstruktion hochpräziser Na-nopositionier- und Nanomessmaschinen sowie Antastsystemen. Die hier entwickelte Maschine ist die weltweit genaueste ihrer Art. In den SFB 622 ist ein Graduiertenkolleg mit 20 Doktoranden aus sechs Ländern integriert, die mit der Bearbeitung ihrer Dissertationen in die verschiedenen Teilprojekte des Sonderforschungsbereichs voll eingebunden sind. Weltweit kommt keine Messmaschine an die Genauigkeit der Il-menauer Nanopositionier- und Nanomessmaschine mit einer Auf-lösung von 80 Pikometern in einem Messvolumen von 25 x 25 x 5 Millimetern heran. Da mittlerweile Strukturen produziert werden, die kaum größer sind als wenige Atome, findet das Präzisionsgerät in der Industrie immer mehr Akzeptanz. Die vielfältigen hochpräzisen Messaufgaben an Mikro- und Na-nostrukturen in Industrie und Forschung können nicht mit einem einzigen Antastsystem gelöst werden. Forscher verwenden daher verschiedene taktile und optische Systeme. Die Anbindung an die Si-gnal- und Datenverarbeitungseinheit erfolgt über unterschiedliche, frei konfigurierbare digitale und analoge Ein- und Ausgangskanäle. Für die Entwicklung einer solchen Signal- und Datenverarbeitungs-einheit, die die Nanomessmaschine steuert, haben vier Doktoranden des SFB 622 den „Graphical System Design Achievement Award 2012“ des Elektronikherstellers National Instruments gewonnen. Die Arbeit setzte sich in der Kategorie „Advanced Control Systems“ gegen mehr als 120 eingereichte Entwicklungen aus 20 Nationen durch. Die neue modulare Hardwarearchitektur hat nicht nur die Leistungsfähigkeit der Datenverarbeitung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen noch einmal deutlich gesteigert, sie hilft auch, die Signalerfassung und Datenverarbeitung in Zukunft einfach und schnell an neue Herausforderungen anzupassen. „Doktoranden des SFB 622 haben den ,Graphical System Design Achievement Award 2012‘ gewonnen.“ Die Forschungsarbeiten im Graduiertenkolleg des Sonderfor-schungsbereichs 622, der von der Deutschen Forschungsgemein-schaft erstmals 2002 bewilligt wurde, bewegen sich in den Grenz-bereichen der Nanomess- und Positioniertechnik. Integrierender Teil der interdisziplinären Ausbildung der 20 Doktoranden ist ihre aktive Teilnahme mit eigenen Beiträgen an nationalen und internationalen wissenschaftlichen Konferenzen. Ihre Forschungsarbeiten sollen in den nächsten Jahren zur Verwirklichung noch genauerer Maschinen mit Subnanometerpräzision führen.


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