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Bericht des Rektors 2012

52 Forschung auf höchstem Niveau | Sonderforschungsbereich Nanopositionier- und Nanomessschinen SONDERFORSCHUNGSBEREICH Sonderforschungsbereich Nanopositionier- und Nanomessmaschinen Der Sonderforschungsbereich 622 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen feierte 2012 sein 10-jäh-riges Bestehen. Erstmals im Jahr 2002 von der Deutschen Forschungsgemeinschaft bewilligt, wird der SFB 622 nun schon zum dritten Mal nacheinander gefördert. Bei der letzten Bewilligung bezeichnete ihn das DFG-Gutachtergremium als „Leuchtturm mit unerreichter Präzision“. eine Auflösung von nur 80 Pikometern, das sind 80 Milliardstel Mil-limeter – kein Gerät weltweit ist genauer. An den interdisziplinären Forschungsarbeiten des SFB 622 beteiligt sind dreizehn Fachgebiete der TU Ilmenau und das Institut für Mik-roelektronik- und Mechatronik-Systeme IMMS. Die Technologien, die hier entwickelt werden, benötigt sowohl die moderne Forschung, die Nanostrukturen nicht nur sichtbar machen, sondern auch vermessen und bewegen will, als auch die Industrie, die in Zukunft in immer kleinere Dimensionen vorstoßen wird. Die Vorgaben der europäi-schen Metrologiestaatsinstitute sind hochgesteckt: Entsprechend ihrer Nanotechnologie-Roadmap fordern sie bis 2020 rückführbare 3D-Messungen mit Subnanometer-Genauigkeit über mehrere hun-dert Millimeter Bewegungsbereich. Entsprechend ambitioniert sind die aktuellen Forschungsarbeiten unserer Wissenschaftler. Sie wol-len in die Grenzbereiche des physikalisch Möglichen und technisch Machbaren von Nanopositionier- und Nanomesstechnik vorstoßen. Über 40 Wissenschaftler arbeiten im Sonderforschungsbereich Na-nopositionier- und Nanomessmaschinen an der nanometergenauen Positionierung und Messung dreidimensionaler Objekte. Mit Präzi-sionsmaschinen können technische, technologische und analytische Operationen mit höchster Präzision und Dynamik ausgeführt werden. Immer höhere Genauigkeiten werden in Zukunftsfeldern wie der Prä-zisionsoptik, „Auf der ganzen Welt gibt es kein präziseres Gerät als unsere Nanomess-maschine.“ der Halbleitertechnik und der Mikromechanik verlangt. Seit dem Gründungsjahr 2002 erzielte der SFB 622 eine internati-onale Spitzenposition. Die hier entwickelten Nanopositionier- und Nanomessmaschinen erreichen in immer größeren Messbereichen


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